Tecnologia LIDE per produrre in serie di wafer di vetro

LPKF ha ricevuto un ulteriore ordine dall’industria dei semiconduttori. Un produttore di chip leader a livello mondiale ha installato un primo sistema LIDE all’inizio del 2020 e, dopo una fase di qualificazione, lo ha utilizzato per lo sviluppo dei propri prodotti.

Di recente, sono stati ordinati altri sistemi LIDE in modo da poter avviare la produzione in serie di componenti elettronici con alloggiamento di chip in vetro. Le parti hanno concordato di non rivelare alcun dettaglio. Con il processo LIDE (Laser Induced Deep Etching) sviluppato da LPKF, il vetro sottile può essere lavorato velocemente, con precisione e senza alcun danno come microfratture o difetti superficiali. Questo rende LIDE una tecnologia di base per molte applicazioni della tecnologia dei microsistemi, compresa la produzione di microchip, display, sensori o MEMS.

Una macchina Vitrion LPKF per la lavorazione laser del vetro sottile.
Una macchina Vitrion LPKF per la lavorazione laser del vetro sottile.

Un processo in due fasi

La tecnologia messa a punto da LPKF prevede un processo in due fasi. Con LIDE, le strutture possono essere generate con un’alta profondità e un alto rapporto d’aspetto nell’ordine di >1:10 in vetro sottile con una velocità di lavorazione altamente economica. Possono essere generate strutture di dimensioni <5 µm. Nella prima fase, il vetro viene modificato localmente tramite impulsi laser secondo il layout desiderato. Nella seconda fase del processo, la fase di incisione chimica a umido, le regioni modificate del vetro vengono ablate molto più rapidamente del materiale non modificato. Di conseguenza, vengono prodotte microstrutture estremamente stabili e precise. Inoltre, l’alta velocità rende il processo adatto alla produzione di grandi volumi.

Il dottor Roman Ostholt, responsabile della Business Unit Electronics di LPKF, è lieto che il produttore di chip abbia raggiunto un importante obiettivo di innovazione in breve tempo utilizzando la tecnologia LIDE. “A partire dal prossimo anno, il nostro cliente farà un grande passo avanti rispetto ai suoi concorrenti con i suoi nuovi prodotti”, dice Ostholt. Allo stesso tempo, il manager è consapevole dell’effetto di segnalazione che questo ordine avrà. “LIDE può ora dimostrare di essere in grado di soddisfare gli standard estremamente elevati dell’industria dei semiconduttori. Questo qualifica anche la tecnologia per la produzione di massa in altri settori rilevanti”. Presso la sede centrale dell’azienda a Garbsen, LPKF gestisce il proprio impianto di produzione LIDE per componenti in vetro in condizioni di camera bianca con il marchio Vitrion. Da qui, l’azienda fornisce ai clienti di tutto il mondo componenti di alta precisione in vetro per una vasta gamma di applicazioni.

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